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产品简介
卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如C3H8、CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理高温气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备，而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数，目前常规气相沉积设备的使用温度**只有2000℃，本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃
型号 | 功率 | 温度 |
Φ300*600 | 100KW | 2500℃ |
Φ500*1000 | 200KW | 2500℃ |
Φ800*2000 | 400KW | 2500℃ |
Φ1500*2500 | 1000KW | 2500℃ |
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